化学蒸发沉积装置喷头

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200580027248.6

申请日：

2005-08-09

公开(公告)号：

CN101031998A

公开(公告)日：

2007-09-05

发明(设计)人：

严坪镕

申请人：

申请人地址：

韩国忠清南道

IPC主分类号：

H01L21205

IPC分类号：

代理机构：

北京汇泽知识产权代理有限公司

代理人：

张瑾

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-09-05	公开	公开
2009-03-25	授权	授权
2007-10-31	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

化学气相沉积装置及其喷头 [P].

卜维亮 ;

平延磊 ;

张炳一 .

中国专利 :CN102051595A ,2011-05-11

[2]

化学气相沉积装置及其喷头 [P].

卜维亮 ;

李勇 ;

曾明 .

中国专利 :CN102140629A ,2011-08-03

[3]

化学气相沉积装置 [P].

胡广严 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN207331057U ,2018-05-08

[4]

喷头及具有其的化学气相沉积装置 [P].

郭挑远 ;

白国斌 ;

高建峰 ;

王桂磊 ;

田光辉 ;

丁云凌 .

中国专利 :CN114622182A ,2022-06-14

[5]

一种化学气相沉积装置及其喷头 [P].

吴天成 .

中国专利 :CN110894597A ,2020-03-20

[6]

一种化学气相沉积装置及其喷头 [P].

吴天成 .

中国专利 :CN208829759U ,2019-05-07

[7]

喷头及具有其的化学气相沉积装置 [P].

郭挑远 ;

白国斌 ;

高建峰 ;

王桂磊 ;

田光辉 ;

丁云凌 .

中国专利 :CN114622182B ,2024-12-31

[8]

一种化学气相沉积装置及其喷头组件 [P].

李一成 .

中国专利 :CN101974736B ,2011-02-16

[9]

化学气相沉积装置、化学气相沉积方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN103060772B ,2013-04-24

[10]

气体喷头及薄膜沉积装置 [P].

杨士逸 .

中国专利 :CN221440859U ,2024-07-30

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