一种碳化硅晶片抛光工艺转运用装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201921914353.7

申请日：

2019-11-06

公开(公告)号：

CN212332677U

公开(公告)日：

2021-01-12

发明(设计)人：

徐良曹力力蓝文安朱卫祥夏建白李京波

申请人：

申请人地址：

321000 浙江省金华市南二环西路2688号

IPC主分类号：

B62B300

IPC分类号：

B62B500 B62B506

代理机构：

北京辰权知识产权代理有限公司 11619

代理人：

董李欣

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-01-12	授权	授权

共 50 条

[1]

一种碳化硅晶片抛光工艺转运用装置 [P].

李有群 ;

章磊 ;

贺贤汉 ;

陈辉 ;

孙大方 .

中国专利 :CN217194366U ,2022-08-16

[2]

一种碳化硅晶片的抛光工艺 [P].

林武庆 ;

张洁 ;

赖柏帆 ;

陈文鹏 .

中国专利 :CN108555700A ,2018-09-21

[3]

一种碳化硅晶片的抛光装置 [P].

崔素杭 ;

白欣娇 ;

李帅 ;

李晓波 ;

张震 .

中国专利 :CN210060646U ,2020-02-14

[4]

碳化硅晶片抛光设备 [P].

张学良 ;

袁巨龙 ;

邓乾发 ;

杭伟 ;

王佳焕 .

中国专利 :CN115502870A ,2022-12-23

[5]

碳化硅晶片抛光设备 [P].

张学良 ;

袁巨龙 ;

邓乾发 ;

杭伟 ;

王佳焕 .

中国专利 :CN115502870B ,2025-04-29

[6]

一种用于碳化硅晶片的抛光装置 [P].

贺贤汉 ;

章磊 ;

李有群 ;

陈辉 ;

孙大方 .

中国专利 :CN216504265U ,2022-05-13

[7]

一种用于碳化硅晶片的抛光装置 [P].

白欣娇 ;

李帅 ;

曾昊 ;

申硕 ;

崔素杭 .

中国专利 :CN211916473U ,2020-11-13

[8]

碳化硅晶片抛光用的制备装置 [P].

高中伟 ;

常杰 ;

张静娜 ;

高增禄 .

中国专利 :CN217194633U ,2022-08-16

[9]

碳化硅晶片的抛光方法 [P].

蔡子萱 ;

施英汝 ;

杨咏皓 ;

吴伟立 .

中国专利 :CN114388347B ,2025-08-12

[10]

碳化硅晶片的抛光方法 [P].

蔡子萱 ;

施英汝 ;

杨咏皓 ;

吴伟立 .

中国专利 :CN114388347A ,2022-04-22

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