表面处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202280056826.2

申请日：

2022-09-20

公开(公告)号：

CN117836463A

公开(公告)日：

2024-04-05

发明(设计)人：

深田和宏栗原义明难波武志福山聪小久保光典

申请人：

芝浦机械株式会社

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C14/56

IPC分类号：

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

任玉敏

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-23	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/56申请日:20220920
2024-04-05	公开	公开

共 50 条

[1]

表面处理装置以及表面处理方法 [P].

小久保光典 ;

福山聪 ;

深田和宏 ;

末木凜太郎 ;

栗原义明 ;

难波武志 .

日本专利 :CN117940604A ,2024-04-26

[2]

表面处理装置及表面处理方法 [P].

小久保光典 ;

福山聪 ;

栗原义明 ;

难波武志 .

日本专利 :CN116324012B ,2025-05-27

[3]

表面处理装置 [P].

杜怡君 ;

邓禹 ;

谷琛 ;

周军 ;

樊钰 ;

周松松 ;

吕晓露 ;

方泳皓 .

中国专利 :CN216338714U ,2022-04-19

[4]

表面处理装置 [P].

王辉 ;

徐凯 ;

李志 .

中国专利 :CN213901645U ,2021-08-06

[5]

表面处理装置及方法 [P].

杜怡君 ;

邓禹 ;

谷琛 ;

周军 ;

樊钰 ;

周松松 ;

吕晓露 ;

方泳皓 .

中国专利 :CN114808449A ,2022-07-29

[6]

碳纤维表面处理装置 [P].

祝龙云 .

中国专利 :CN105420964A ,2016-03-23

[7]

表面处理方法、表面处理装置、表面处理基板及光电装置 [P].

平井利充 ;

长谷井宏宣 .

中国专利 :CN1571117A ,2005-01-26

[8]

等离子处理装置与基板表面处理装置 [P].

村山浩二 ;

藤本浩树 .

中国专利 :CN1638598A ,2005-07-13

[9]

表面处理装置及表面处理方法 [P].

长田道男 ;

北田良二 ;

广田敦司 .

中国专利 :CN100436096C ,2003-05-28

[10]

表面处理装置以及表面处理方法 [P].

井村了太 .

中国专利 :CN110891735A ,2020-03-17

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