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包含酰胺溶剂的抗蚀剂下层膜形成用组合物
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311485456.7
申请日：
2018-01-09
公开(公告)号：
CN117539127A
公开(公告)日：
2024-02-09
发明(设计)人：
德永光
滨田聪志
桥本圭祐
坂本力丸
申请人：
日产化学株式会社
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
G03F7/11
IPC分类号：
H01L21/027
H01L21/308
H01L21/311
C08G12/34
代理机构：
北京市中咨律师事务所 11247
代理人：
孙丽梅;段承恩
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-02-09 | 公开 | 公开 |
| 2024-03-01 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/11申请日:20180109 |