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半导体装置及其制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311133526.2
申请日：
2023-09-05
公开(公告)号：
CN117423621A
公开(公告)日：
2024-01-19
发明(设计)人：
沈书文
林彦伯
陈俊翰
申请人：
台湾积体电路制造股份有限公司
申请人地址：
中国台湾新竹市
IPC主分类号：
H01L21/336
IPC分类号：
H01L29/78
H01L27/088
H01L21/82
代理机构：
隆天知识产权代理有限公司 72003
代理人：
李南山
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-01-19 | 公开 | 公开 |
| 2024-02-06 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/336申请日:20230905 |