一种晶圆研磨设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202321551689.8

申请日：

2023-06-19

公开(公告)号：

CN220312787U

公开(公告)日：

2024-01-09

发明(设计)人：

刘尚书汪民黄伟施建华

申请人：

磊菱半导体设备（江苏）有限公司

申请人地址：

226000 江苏省南通市启东经济开发区凯旋路399号

IPC主分类号：

B24B7/22

IPC分类号：

B24B41/00 B24B41/02 B24B47/00 B24B47/12

代理机构：

南通鼎点知识产权代理事务所(普通合伙) 32442

代理人：

胡建锋

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省南通市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-01-09	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆研磨头及晶圆研磨设备 [P].

田小勇 .

中国专利 :CN223532196U ,2025-11-11

[2]

一种晶圆研磨设备 [P].

李明欣 ;

冷祥 ;

刘志华 .

中国专利 :CN223545000U ,2025-11-14

[3]

一种晶圆研磨设备 [P].

叶顺闵 ;

林伯璋 ;

蔡孟霖 ;

蘇政宏 .

中国专利 :CN216435843U ,2022-05-03

[4]

—种晶圆研磨设备 [P].

姬煜 ;

赵通 .

中国专利 :CN213439057U ,2021-06-15

[5]

晶圆研磨设备 [P].

史爱波 .

中国专利 :CN203863494U ,2014-10-08

[6]

晶圆研磨设备 [P].

周小红 ;

蒋阳波 .

中国专利 :CN208428101U ,2019-01-25

[7]

一种晶圆研磨抛光设备 [P].

聂伟 ;

陈志远 ;

姜红涛 ;

孔凡苑 ;

孟强 ;

曹文文 ;

魏通 .

中国专利 :CN209425259U ,2019-09-24

[8]

一种晶圆片研磨设备 [P].

陈峰 ;

洪章源 .

中国专利 :CN214980132U ,2021-12-03

[9]

一种晶圆研磨抛光设备 [P].

申振 ;

周子林 ;

孔慧 .

中国专利 :CN217371899U ,2022-09-06

[10]

一种用于清洁晶圆研磨垫的装置及晶圆研磨设备 [P].

靳凌翔 ;

陈曦鹏 ;

孙介楠 .

中国专利 :CN221270818U ,2024-07-05

← 1 2 3 4 5 →