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化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311143912.X
申请日：
2023-09-06
公开(公告)号：
CN117666284A
公开(公告)日：
2024-03-08
发明(设计)人：
增永惠一
渡边聪
小竹正晃
船津显之
福岛将大
松泽雄太
申请人：
信越化学工业株式会社
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
G03F7/039
IPC分类号：
G03F7/004
G03F1/56
G03F1/50
G03F1/22
代理机构：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人：
刘新宇;李茂家
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-03-08 | 公开 | 公开 |
| 2024-03-26 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/039申请日:20230906 |