学术探索
学术期刊
学术作者
新闻热点
数据分析
智能评审

化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411069502.X
申请日：
2024-08-06
公开(公告)号：
CN119472171A
公开(公告)日：
2025-02-18
发明(设计)人：
增永惠一 渡边聪 福岛将大 小竹正晃 松泽雄太 末吉巽
申请人：
信越化学工业株式会社
申请人地址：
日本
IPC主分类号：
G03F7/039
IPC分类号：
G03F1/22 G03F1/24 G03F7/004
代理机构：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人：
刘新宇;李茂家
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-03-07 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/039申请日:20240806
2025-02-18 公开 公开
共 50 条
[1]
化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法 [P]. 
增永惠一 ;
渡边聪 ;
船津显之 ;
小竹正晃 ;
井上直也 .
中国专利 :CN115113483A ,2022-09-27
[2]
化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法 [P]. 
增永惠一 ;
渡边聪 ;
船津显之 ;
小竹正晃 ;
井上直也 .
日本专利 :CN115113483B ,2025-08-01
[3]
化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法 [P]. 
增永惠一 ;
渡边聪 ;
船津显之 ;
福岛将大 ;
小竹正晃 ;
松泽雄太 .
日本专利 :CN117590697A ,2024-02-23
[4]
化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法 [P]. 
增永惠一 ;
渡边聪 ;
福岛将大 ;
小竹正晃 ;
松泽雄太 .
日本专利 :CN118938597A ,2024-11-12
[5]
化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法 [P]. 
增永惠一 ;
渡边聪 ;
小竹正晃 ;
船津显之 ;
福岛将大 ;
松泽雄太 .
日本专利 :CN117666284A ,2024-03-08
[6]
化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法 [P]. 
福岛将大 ;
渡边聪 ;
船津显之 ;
增永惠一 ;
小竹正晃 ;
松泽雄太 .
日本专利 :CN120972458A ,2025-11-18
[7]
化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法 [P]. 
福岛将大 ;
渡边聪 ;
增永惠一 ;
小竹正晃 ;
松泽雄太 .
日本专利 :CN120595538A ,2025-09-05
[8]
化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法 [P]. 
增永惠一 ;
畠山润 ;
渡边聪 ;
船津显之 ;
小竹正晃 ;
福岛将大 .
日本专利 :CN116360217B ,2025-12-12
[9]
化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法 [P]. 
增永惠一 ;
渡边聪 ;
福岛将大 ;
小竹正晃 ;
松泽雄太 .
日本专利 :CN118938598A ,2024-11-12
[10]
化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法 [P]. 
小竹正晃 ;
渡边聪 ;
增永惠一 ;
大桥正树 .
中国专利 :CN114924464A ,2022-08-19
12345