化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211633529.8

申请日：

2022-12-19

公开(公告)号：

CN116360217B

公开(公告)日：

2025-12-12

发明(设计)人：

增永惠一畠山润渡边聪船津显之小竹正晃福岛将大

申请人：

信越化学工业株式会社

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G03F7/039

IPC分类号：

G03F1/56 G03F7/004

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;李茂家

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-12	授权	授权

共 50 条

[1]

化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法 [P].

增永惠一 ;

渡边聪 ;

船津显之 ;

小竹正晃 ;

井上直也 .

中国专利 :CN115113483A ,2022-09-27

[2]

化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法 [P].

增永惠一 ;

渡边聪 ;

小竹正晃 ;

船津显之 ;

福岛将大 ;

松泽雄太 .

日本专利 :CN117666284A ,2024-03-08

[3]

化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法 [P].

增永惠一 ;

渡边聪 ;

福岛将大 ;

小竹正晃 ;

松泽雄太 ;

末吉巽 .

日本专利 :CN119472171A ,2025-02-18

[4]

化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法 [P].

增永惠一 ;

渡边聪 ;

船津显之 ;

小竹正晃 ;

井上直也 .

日本专利 :CN115113483B ,2025-08-01

[5]

化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法 [P].

福岛将大 ;

渡边聪 ;

船津显之 ;

增永惠一 ;

小竹正晃 ;

松泽雄太 .

日本专利 :CN120972458A ,2025-11-18

[6]

化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法 [P].

增永惠一 ;

渡边聪 ;

船津显之 ;

福岛将大 ;

小竹正晃 ;

松泽雄太 .

日本专利 :CN117590697A ,2024-02-23

[7]

化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法 [P].

增永惠一 ;

渡边聪 ;

福岛将大 ;

小竹正晃 ;

松泽雄太 .

日本专利 :CN118938597A ,2024-11-12

[8]

化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法 [P].

福岛将大 ;

渡边聪 ;

增永惠一 ;

小竹正晃 ;

松泽雄太 .

日本专利 :CN120595538A ,2025-09-05

[9]

化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法 [P].

福岛将大 ;

渡边聪 ;

船津显之 ;

增永惠一 ;

小竹正晃 ;

松泽雄太 .

日本专利 :CN120522977A ,2025-08-22

[10]

化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法 [P].

小竹正晃 ;

渡边聪 ;

增永惠一 ;

大桥正树 .

中国专利 :CN114924464A ,2022-08-19

← 1 2 3 4 5 →