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一种表面异质结构的快速减薄抛光方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011267262.6
申请日：
2020-11-13
公开(公告)号：
CN112563132B
公开(公告)日：
2024-06-04
发明(设计)人：
陈春明
赵广宏
汪郁东
张姗
郭伟龙
申请人：
北京遥测技术研究所
航天长征火箭技术有限公司
申请人地址：
100076 北京市丰台区南大红门路1号
IPC主分类号：
H01L21/321
IPC分类号：
H01L21/3105
H01L21/66
代理机构：
北京巨弘知识产权代理事务所(普通合伙) 11673
代理人：
赵洋
法律状态：
授权
国省代码：
安徽省
宣城市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-06-04 | 授权 | 授权 |