制造基板结构的方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201810093986.X
申请日
2018-01-31
公开(公告)号
CN108389793B
公开(公告)日
2024-01-23
发明(设计)人
姜泌圭 金石镐 金兑泳 文光辰 李镐珍
申请人
三星电子株式会社
申请人地址
韩国京畿道
IPC主分类号
H01L21/304
IPC分类号
H01L21/60
代理机构
北京市柳沈律师事务所 11105
代理人
张波
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
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