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一种半导体检测辅助装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202322221512.8
申请日：
2023-08-18
公开(公告)号：
CN220626455U
公开(公告)日：
2024-03-19
发明(设计)人：
谢卫国
王茜
申请人：
苏州齐芯技术服务合伙企业（有限合伙）
申请人地址：
215000 江苏省苏州市吴中区木渎镇枫瑞路118号401室
IPC主分类号：
G01R1/04
IPC分类号：
G01R31/26
H01L21/66
代理机构：
南京汇诚信合知识产权代理事务所(普通合伙) 32609
代理人：
陆井玉
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-03-19 | 授权 | 授权 |