共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种半导体检测装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311619072.X
申请日：
2023-11-29
公开(公告)号：
CN117637510B
公开(公告)日：
2024-10-29
发明(设计)人：
赵帅
胡元茂
申请人：
重庆理工大学
申请人地址：
400054 重庆市巴南区红光大道69号
IPC主分类号：
H01L21/66
IPC分类号：
G01D21/02
H01L21/677
H01L21/67
代理机构：
重庆强大凯创专利代理事务所(普通合伙) 50217
代理人：
王攀
法律状态：
公开
国省代码：
重庆市
市辖区
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-03-01 | 公开 | 公开 |
| 2024-10-29 | 授权 | 授权 |
| 2024-03-19 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/66申请日:20231129 |