一种实现芯片高密度封装的结构以及方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202311525498.9
申请日
2023-11-15
公开(公告)号
CN117558697A
公开(公告)日
2024-02-13
发明(设计)人
牟运 陈德一 田贲 段权珍 徐建明 王中风
申请人
中山大学
申请人地址
510275 广东省广州市海珠区新港西路135号
IPC主分类号
H01L23/488
IPC分类号
H01L21/60
代理机构
广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205
代理人
陈磊
法律状态
实质审查的生效
国省代码
广东省 广州市
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共 50 条
[1]
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