晶圆视觉检测方法、检测系统、检测晶圆损坏的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110316188.0

申请日：

2021-03-24

公开(公告)号：

CN113161254B

公开(公告)日：

2024-01-30

发明(设计)人：

左国军任金枝范生刚马冠男

申请人：

创微微电子（常州）有限公司常州捷佳创精密机械有限公司

申请人地址：

213133 江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号

IPC主分类号：

H01L21/66

IPC分类号：

H01L21/67

代理机构：

北京友联知识产权代理有限公司 11343

代理人：

汪海屏;王淑梅

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-01-30	授权	授权

共 50 条

[21]

晶圆检测系统及检测方法 [P].

王绍通 ;

赵威威 ;

黄崇基 .

中国专利 :CN117491384A ,2024-02-02

[22]

晶圆检测系统及检测方法 [P].

缪凯 .

中国专利 :CN121068620A ,2025-12-05

[23]

晶圆在位检测装置、晶圆托架以及晶圆在位检测方法 [P].

路新春 ;

沈攀 ;

王同庆 ;

何永勇 .

中国专利 :CN102931115A ,2013-02-13

[24]

晶圆在位检测装置、晶圆托架以及晶圆在位检测方法 [P].

沈攀 ;

路新春 .

中国专利 :CN107546145A ,2018-01-05

[25]

晶圆检测系统 [P].

陈建强 ;

曾安 ;

朱充 .

中国专利 :CN118280897A ,2024-07-02

[26]

晶圆缺陷检测设备以及晶圆缺陷检测方法 [P].

金德容 ;

吴容哲 ;

曲扬 .

中国专利 :CN115020261A ,2022-09-06

[27]

晶圆状态检测方法及晶圆状态检测装置 [P].

杨森元 ;

李宁宁 ;

邓博雅 ;

吕维迪 ;

赵佳强 ;

王晓尉 ;

王二朋 ;

于佳豪 .

中国专利 :CN117537776A ,2024-02-09

[28]

晶圆检测机构、检测方法及晶圆传输装置 [P].

何川 ;

薛增辉 ;

葛敬昌 ;

鲍伟成 ;

冯启异 ;

叶莹 .

中国专利 :CN117038495B ,2024-01-30

[29]

晶圆在位检测装置以及晶圆在位检测方法 [P].

路新春 ;

沈攀 ;

何永勇 .

中国专利 :CN102496587A ,2012-06-13

[30]

晶圆检测方法与晶圆处理系统 [P].

金永敏 ;

李纲伦 .

中国专利 :CN119804487A ,2025-04-11

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