共 50 条
[41]
[42]
[43]
[44]
[45]
[46]
[47]
[48]
[49]
[50]
晶圆视觉检测方法、检测系统、检测晶圆损坏的方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110316188.0
申请日：
2021-03-24
公开(公告)号：
CN113161254B
公开(公告)日：
2024-01-30
发明(设计)人：
左国军
任金枝
范生刚
马冠男
申请人：
创微微电子（常州）有限公司
常州捷佳创精密机械有限公司
申请人地址：
213133 江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号
IPC主分类号：
H01L21/66
IPC分类号：
H01L21/67
代理机构：
北京友联知识产权代理有限公司 11343
代理人：
汪海屏;王淑梅
法律状态：
授权
国省代码：
江苏省
常州市
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-01-30 | 授权 | 授权 |