共 50 条
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窒化チタンを選択的にエッチングするための組成物および方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20140550456
申请日：
2012-12-27
公开(公告)号：
JP2015506583A
公开(公告)日：
2015-03-02
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/308
IPC分类号：
H01L21/304
H01L21/3205
H01L21/768
H01L23/522
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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