金属酸化物のエッチングおよびチャンバ構成要素の保護[ja]

被引：0

申请号：

JP20210515557

申请日：

2019-09-20

公开(公告)号：

JP2022501824A

公开(公告)日：

2022-01-06

发明(设计)人：

申请人：

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IPC主分类号：

H01L21/3065

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共 50 条

[1]

金属酸化物のエッチングおよびチャンバ構成要素の保護[ja] [P].

AKHIL N SINGHAL ;

DUSTIN ZACHARY AUSTIN ;

ALON GANANY ;

DANIEL BOATRIGHT .

日本专利 :JP2023018112A ,2023-02-07

[2]

金属酸化物エッチング液組成物およびエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JP6261926B2 ,2018-01-17

[3]

金属酸化物エッチング液組成物およびエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JP6501858B2 ,2019-04-17

[4]

金属および金属酸化物膜のエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JP6087845B2 ,2017-03-01

[5]

ラジカル構成要素の酸化物エッチング[ja] [P].

日本专利 :JP2015531547A ,2015-11-02

[6]

ラジカル構成要素の酸化物エッチング[ja] [P].

日本专利 :JP6218836B2 ,2017-10-25

[7]

金属酸化物のエッチング方法[ja] [P].

TAKEDA KEIGO ;

HIRAMATSU MINEO .

日本专利 :JP2025022336A ,2025-02-14

[8]

金属酸化物の原子層エッチング[ja] [P].

日本专利 :JP2024509558A ,2024-03-04

[9]

金属酸化物の原子層エッチング[ja] [P].

日本专利 :JP7330954B2 ,2023-08-22

[10]

金属酸化物の原子層エッチング[ja] [P].

日本专利 :JP2020535657A ,2020-12-03

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