強誘電体薄膜形成用液状組成物および強誘電体薄膜の製造方法[ja]

被引:0
申请号
JP20050505886
申请日
2004-04-23
公开(公告)号
JPWO2004097854A1
公开(公告)日
2006-07-13
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C04B35/00
IPC分类号
C01G23/00 C01G25/00 C01G33/00 C01G35/00 C01G49/00 C04B35/46 C04B35/49 C23C18/12 H01L21/316
代理机构
代理人
法律状态
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共 50 条
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