強誘電体膜およびその製造方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20130526623

申请日：

2011-07-29

公开(公告)号：

JPWO2013018155A1

公开(公告)日：

2015-02-23

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

H10N30/853

IPC分类号：

H01L21/316 H10N30/00 H10N30/01 H10N30/06 H10N30/078 H10N30/079 H10N30/097 H10N30/50

代理机构：

代理人：

法律状态：

国省代码：

引用

下载

共 50 条

[1]

酸化物強誘電体およびその製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP6086419B2 ,2017-03-01

[2]

強誘電体薄膜形成用液状組成物および強誘電体薄膜の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2004097854A1 ,2006-07-13

[3]

強誘電体薄膜形成用液状組成物および強誘電体薄膜の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2005010895A1 ,2006-09-14

[4]

透明導電膜およびその製造方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2008099932A1 ,2010-05-27

[5]

強誘電体デバイス及びその製造方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2015012359A1 ,2017-03-02

[6]

酸化物誘電体シートおよびその製造方法[ja] [P].

KATAYAMA TSUKASA ;

YU RUI ;

GONG LIZHIKUN ;

OTA HIROMICHI .

日本专利 :JP2024009790A ,2024-01-23

[7]

強誘電体薄膜の形成方法および強誘電体メモリ[ja] [P].

日本专利 :JPWO2008004571A1 ,2009-12-03

[8]

超格子構造を有する強誘電体薄膜とその製造方法、並びに強誘電体素子とその製造方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2012050007A1 ,2014-02-24

[9]

導電膜の製造方法および導電膜[ja] [P].

日本专利 :JPWO2019138706A1 ,2021-01-14

[10]

導電膜および導電膜の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2008105198A1 ,2010-06-03

← 1 2 3 4 5 →