共 50 条
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超格子構造を有する強誘電体薄膜とその製造方法、並びに強誘電体素子とその製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20120538643
申请日：
2011-10-04
公开(公告)号：
JPWO2012050007A1
公开(公告)日：
2014-02-24
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/316
IPC分类号：
H10N30/85
C01G33/00
H01B3/00
H01L21/8246
H01L27/105
H10N30/077
H10N30/093
H10N30/853
H10N97/00
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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