光吸収層を製造するためのスパッタリングターゲット[ja]

被引:0
申请号
JP20190513769
申请日
2017-09-06
公开(公告)号
JP2019529705A
公开(公告)日
2019-10-17
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C23C14/34
IPC分类号
C01G19/02 C01G23/00 C01G33/00
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
引用
下载
收藏