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Ａｌ−Ｔｅ−Ｃｕ−Ｚｒ系合金からなるスパッタリングターゲット及びその製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20160553148
申请日：
2015-10-08
公开(公告)号：
JP6282755B2
公开(公告)日：
2018-02-21
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C14/34
IPC分类号：
B22F3/10
C22C1/04
C22C21/00
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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