共 50 条
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隣接機構間に導電性パイプを形成する方法及び隣接機構間に導電性パイプを有する集積アセンブリ[ja]
被引：0
申请号：
JP20220568754
申请日：
2021-03-12
公开(公告)号：
JP2023525324A
公开(公告)日：
2023-06-15
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/3205
IPC分类号：
H01L21/82
H01L21/822
H01L21/8238
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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