隣接機構間に導電性パイプを形成する方法及び隣接機構間に導電性パイプを有する集積アセンブリ[ja]

被引:0
申请号
JP20220568754
申请日
2021-03-12
公开(公告)号
JP2023525324A
公开(公告)日
2023-06-15
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
H01L21/3205
IPC分类号
H01L21/82 H01L21/822 H01L21/8238
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
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周期的堆積プロセスによって基材の誘電体表面上にモリブデン金属膜を堆積させる方法および関連する半導体デバイス構造[ja] [P]. 
BHUSHAN ZOPE ;
SHANKAR SWAMINATHAN ;
KIRAN SHRESTHA ;
ZHU CHIYU ;
HENRI TUOMAS ANTERO JUSSILA ;
XIE QI .
日本专利 :JP2024161046A ,2024-11-15