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酸化物焼結体、それから成るターゲットおよび透明導電膜[ja]
被引：0
申请号：
JP20110005929
申请日：
2011-01-14
公开(公告)号：
JP5740992B2
公开(公告)日：
2015-07-01
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C04B35/453
IPC分类号：
C01G9/00
C01G15/00
C23C14/08
C23C14/34
H01B5/14
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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