選択的エッチング方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20140504617

申请日：

2012-09-03

公开(公告)号：

JPWO2013136555A1

公开(公告)日：

2015-08-03

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

C23F1/38

IPC分类号：

C23F1/36 C23F1/40 H01L21/308

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法律状态信息

共 50 条

[1]

エッチング方法[ja] [P].

TONARI KAZUHIKO ;

ONO YOHEI ;

SON JINHYEOK ;

PARK JUN-CHANG ;

LEE HYUNHWA ;

BAE JINJU .

日本专利 :JP2025025807A ,2025-02-21

[2]

エッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2018225661A1 ,2020-04-09

[3]

エッチング方法及びエッチング装置[ja] [P].

日本专利 :JPWO2018020822A1 ,2019-05-09

[4]

選択的金属／金属酸化物エッチングプロセス[ja] [P].

日本专利 :JP2017505990A ,2017-02-23

[5]

選択的金属／金属酸化物エッチングプロセス[ja] [P].

日本专利 :JP6258512B2 ,2018-01-10

[6]

エッチング方法およびエッチング装置[ja] [P].

TAKEYA KOJI ;

KANEKI TOSHIKI ;

KAWAGUCHI TSUBASA .

日本专利 :JP2024044428A ,2024-04-02

[7]

エッチング剤、エッチング方法およびエッチング剤調製液[ja] [P].

日本专利 :JPWO2015002272A1 ,2017-02-23

[8]

選択的自己制限式タングステンエッチングプロセス[ja] [P].

日本专利 :JP2022548979A ,2022-11-22

[9]

シリコンエッチング液およびエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2009136558A1 ,2011-09-08

[10]

シリコンエッチング液およびエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2011040484A1 ,2013-02-28

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