共 50 条
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セラミックス膜およびその製造方法、ならびに強誘電体キャパシタ、半導体装置、その他の素子[ja]
被引：0
申请号：
JP20030505262
申请日：
2002-06-13
公开(公告)号：
JPWO2002102709A1
公开(公告)日：
2004-09-30
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C30B29/22
IPC分类号：
C04B35/42
C04B35/45
C04B35/457
C04B35/465
C04B35/472
C04B35/475
C04B35/491
C04B35/493
C04B35/495
C04B35/497
C04B35/624
C23C14/08
C23C16/40
C23C18/12
H01L21/314
H01L21/316
H01L21/8246
H01L27/105
H10N30/00
H10N30/01
H10N30/074
H10N30/077
H10N30/078
H10N30/093
H10N30/20
H10N30/50
H10N30/85
H10N30/853
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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