セラミックス膜およびその製造方法、ならびに強誘電体キャパシタ、半導体装置、その他の素子[ja]

被引:0
申请号
JP20030505262
申请日
2002-06-13
公开(公告)号
JPWO2002102709A1
公开(公告)日
2004-09-30
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C30B29/22
IPC分类号
C04B35/42 C04B35/45 C04B35/457 C04B35/465 C04B35/472 C04B35/475 C04B35/491 C04B35/493 C04B35/495 C04B35/497 C04B35/624 C23C14/08 C23C16/40 C23C18/12 H01L21/314 H01L21/316 H01L21/8246 H01L27/105 H10N30/00 H10N30/01 H10N30/074 H10N30/077 H10N30/078 H10N30/093 H10N30/20 H10N30/50 H10N30/85 H10N30/853
代理机构
代理人
法律状态
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