降低蚀刻侧蚀量的防侧蚀剂及其使用方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410704010.7

申请日：

2024-06-03

公开(公告)号：

CN118272811A

公开(公告)日：

2024-07-02

发明(设计)人：

张德良邢猛周立强杨永学朱林

申请人：

新恒汇电子股份有限公司

申请人地址：

255086 山东省淄博市高新区中润大道187号

IPC主分类号：

C23F1/02

IPC分类号：

C23F1/18 C23F11/08 C23F1/46

代理机构：

青岛发思特专利商标代理有限公司 37212

代理人：

黄玲玉

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-07-19	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23F 1/02申请日:20240603
2024-07-02	公开	公开
2025-08-12	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回IPC(主分类):C23F 1/02申请公布日:20240702

共 50 条

[1]

一种侧蚀小的铜蚀刻液 [P].

杜冰 ;

顾群艳 ;

梁豹 ;

鲍杰 ;

赵建龙 ;

张兵 ;

向文胜 ;

朱坤 .

中国专利 :CN106757029A ,2017-05-31

[2]

金属防蚀除油剂及其使用方法 [P].

葛敏 .

中国专利 :CN109440116A ,2019-03-08

[3]

抗蚀剂组合物和抗蚀剂组合物的使用方法 [P].

冈田拓巳 ;

佐藤英之 ;

片桐诚之 ;

铃木周 .

中国专利 :CN115151863A ,2022-10-04

[4]

无毒的抗蚀组合物及其使用方法 [P].

艾哈迈德·沙拉比 ;

罗伯特·N·米勒 .

中国专利 :CN1136273C ,1998-08-26

[5]

无毒的抗蚀组合物及其使用方法 [P].

艾哈迈德·沙拉比 ;

罗伯特·N·米勒 .

中国专利 :CN1215742A ,1999-05-05

[6]

无毒的抗蚀组合物及其使用方法 [P].

艾哈迈德·沙拉比 ;

罗伯特·N·米勒 .

中国专利 :CN1191233A ,1998-08-26

[7]

蚀刻剂溶液及其使用方法 [P].

G·E·帕里斯 ;

W·J·小卡斯特尔 ;

陈天牛 .

中国专利 :CN105733587A ,2016-07-06

[8]

抗蚀剂组合物和使用该抗蚀剂组合物的抗蚀剂膜形成方法 [P].

冈田拓巳 ;

星野良辅 ;

佐藤英之 ;

片桐诚之 ;

铃木周 ;

越后雅敏 .

日本专利 :CN117716290A ,2024-03-15

[9]

干膜光致抗蚀剂及其制备方法 [P].

李兆辉 .

中国专利 :CN101441416B ,2009-05-27

[10]

干膜抗蚀剂及其制备方法与应用 [P].

肖志义 ;

党泽龑 ;

毛灿 ;

王爱军 ;

安德烈 .

中国专利 :CN118393814A ,2024-07-26

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