共 50 条
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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-04-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/331申请日:20240205 |
| 2025-08-19 | 专利权的保全及其解除 | 专利权的保全IPC(主分类):H01L 21/331申请日:20240205授权公告日:20240614登记生效日:20250714 |
| 2024-06-14 | 授权 | 授权 |
| 2024-03-15 | 公开 | 公开 |