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一种芯片加工生产用芯片检测设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410222190.5
申请日：
2024-02-28
公开(公告)号：
CN118197942A
公开(公告)日：
2024-06-14
发明(设计)人：
耿开远
申请人：
济宁东方芯电子科技有限公司
申请人地址：
272000 山东省济宁市兖州区新兖镇永安路路北(山东诺力新能源科技有限公司往东200米)
IPC主分类号：
H01L21/66
IPC分类号：
H01L21/687
H01L21/67
代理机构：
杭州研基专利代理事务所(普通合伙) 33389
代理人：
赵顺炜
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
山东省
济宁市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-07-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/66申请日:20240228 |
| 2024-06-14 | 公开 | 公开 |