共 50 条
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基板洗浄装置および基板洗浄方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20220207535
申请日：
2022-12-23
公开(公告)号：
JP2024091091A
公开(公告)日：
2024-07-04
发明(设计)人：
OKITA NOBUAKI
NAKAMURA KAZUKI
OKADA YOSHIFUMI
申请人：
SCREEN HOLDINGS CO LTD
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/304
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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