エッチング方法[ja]

被引:0
申请号
JP20220119573
申请日
2022-07-27
公开(公告)号
JP2024017128A
公开(公告)日
2024-02-08
发明(设计)人
KOGA OSAMU
申请人
TOPPAN HOLDINGS INC
申请人地址
IPC主分类号
C23F1/18
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
酸化スズ膜用エッチング液[ja] [P]. 
SENOO SHUNSAKU ;
SHIRAHAMA YUJI .
日本专利 :JP2024051805A ,2024-04-11
[4]
ポリシリコンをエッチングするための方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2025519682A ,2025-06-26
[5]
エッチング液、補給液、及び配線形成方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2014171174A1 ,2017-02-16
[6]
選択的ウェットエッチング組成物および方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2024539203A ,2024-10-28