基于瞳面调制的垂向测量方法、调焦调平系统及曝光装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410919065.X

申请日：

2024-07-09

公开(公告)号：

CN118981149A

公开(公告)日：

2024-11-19

发明(设计)人：

蓝科陈彩莲刘逍贾婷媛李煜芝程建瑞

申请人：

上海微电子装备（集团）股份有限公司

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F9/00

IPC分类号：

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

赖华东

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-29	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移IPC(主分类):G03F 9/00登记生效日:20250819变更事项:专利权人变更前权利人:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更后权利人:上海芯上微装科技股份有限公司变更事项:国家或地区变更前权利人:中国变更后权利人:中国变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号变更后权利人:201203 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区郭守敬路498号8幢19号楼3层
2025-03-07	授权	授权
2024-11-19	公开	公开
2024-12-06	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 9/00申请日:20240709

共 50 条

[1]

基于瞳面调制的垂向测量方法、调焦调平系统及曝光装置 [P].

蓝科 ;

陈彩莲 ;

刘逍 ;

贾婷媛 ;

李煜芝 ;

程建瑞 .

中国专利 :CN118981149B ,2025-03-07

[2]

调焦调平系统、调焦调平方法及曝光装置 [P].

张雨 ;

邢奕飞 ;

王晓庆 ;

鲁珅 .

中国专利 :CN120447315A ,2025-08-08

[3]

垂向测量系统、垂向测量方法及曝光机 [P].

侯先飞 ;

张民山 ;

李煜芝 .

中国专利 :CN118112893A ,2024-05-31

[4]

调焦调平测量系统及其测量方法 [P].

关俊 .

中国专利 :CN101187783A ,2008-05-28

[5]

用于光刻设备的调焦调平系统及测量方法 [P].

李志丹 ;

程雪 ;

陈飞彪 .

中国专利 :CN103365096B ,2013-10-23

[6]

垂向测量系统及曝光装置 [P].

程于水 ;

毛静超 ;

孙建超 .

中国专利 :CN113433800B ,2021-09-24

[7]

一种调焦调平测量方法及测量系统 [P].

李琛毅 ;

李世光 ;

钟志坚 .

中国专利 :CN115185161B ,2025-10-03

[8]

一种用于调焦调平系统的测量方法 [P].

程雪 ;

李志丹 ;

陈飞彪 ;

潘炼东 .

中国专利 :CN102736430B ,2012-10-17

[9]

垂向测量装置、垂向测量方法及光刻机 [P].

蓝科 ;

陈彩莲 ;

王易因 ;

刘逍 ;

赖勇 ;

李煜芝 ;

程建瑞 .

中国专利 :CN117192917B ,2024-12-31

[10]

测量系统、测量方法及曝光装置 [P].

上田哲宽 .

中国专利 :CN113093484A ,2021-07-09

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