一种半导体抛光研磨液循环处理设备

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202411115907.2
申请日
2024-08-14
公开(公告)号
CN118811979A
公开(公告)日
2024-10-22
发明(设计)人
霍朋 殷杨壹 王梦婷
申请人
苏州冠礼科技有限公司
申请人地址
215151 江苏省苏州市苏州高新区浒墅关开发区石林路189号
IPC主分类号
C02F1/52
IPC分类号
C02F1/00 C02F103/34
代理机构
上海科政专利代理事务所(普通合伙) 31463
代理人
杨军
法律状态
著录事项变更
国省代码
江苏省 常州市
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共 50 条
[1]
半导体研磨液输送装置及半导体抛光设备 [P]. 
刘中流 ;
麻小龙 ;
翟韬 ;
李月 ;
董双庆 .
中国专利 :CN222932468U ,2025-06-03
[2]
一种半导体研磨抛光循环搅拌桶装置 [P]. 
杨柳 ;
张高杰 ;
李振飞 .
中国专利 :CN214923370U ,2021-11-30
[3]
一种半导体材料研磨抛光设备 [P]. 
王刚 .
中国专利 :CN213561877U ,2021-06-29
[4]
一种半导体研磨抛光机 [P]. 
伊观兰 .
中国专利 :CN211103256U ,2020-07-28
[5]
半导体材料抛光研磨装置 [P]. 
冉永迪 .
中国专利 :CN111113225A ,2020-05-08
[6]
一种半导体处理设备 [P]. 
李健 .
中国专利 :CN118629902A ,2024-09-10
[7]
一种半导体处理设备 [P]. 
朱荣帅 ;
张海龙 ;
莱纳德·刘 ;
姜勇 ;
叶佳晨 .
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[8]
半导体研磨抛光装置 [P]. 
姚力军 ;
黄引驰 ;
姚佩佩 ;
蔡杨港 ;
黄文杰 ;
滕俊 ;
吴丹 .
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[9]
一种半导体研磨抛光装置 [P]. 
马珽 ;
刘胜杰 .
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[10]
一种半导体研磨过程化学清洗液处理循环装置 [P]. 
贠奇豪 ;
霍朋 ;
庄明莉 ;
徐育明 ;
李思雨 ;
汪芸博 .
中国专利 :CN119774734A ,2025-04-08