工艺套件及物理气相沉积设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411129913.3

申请日：

2024-08-16

公开(公告)号：

CN118996364A

公开(公告)日：

2024-11-22

发明(设计)人：

潘兴强李靖

申请人：

宸微设备科技（苏州）有限公司

申请人地址：

215299 江苏省苏州市吴江区江陵街道芦荡路228号

IPC主分类号：

C23C14/50

IPC分类号：

C23C14/34 C23C14/54

代理机构：

上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327

代理人：

高静

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-10	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/50申请日:20240816
2024-11-22	公开	公开

共 50 条

[1]

物理气相沉积设备及物理气相沉积工艺 [P].

边国栋 .

中国专利 :CN103572211B ,2014-02-12

[2]

物理气相沉积装置及物理气相沉积方法 [P].

汤本敦史 ;

丹羽直毅 ;

广木富士男 ;

山本刚久 .

中国专利 :CN102131951A ,2011-07-20

[3]

混合还原物理气相沉积方法及物理气相沉积设备 [P].

廖俊彦 ;

李易 ;

张淑兰 ;

林圣轩 ;

张峰瑜 ;

林威戎 ;

蔡纯怡 ;

纪志坚 ;

蔡明兴 ;

张珮珊 ;

张志维 .

中国专利 :CN119162539A ,2024-12-20

[4]

静电吸盘、物理气相沉积腔室及物理气相沉积设备 [P].

李昇聪 .

中国专利 :CN220767151U ,2024-04-12

[5]

物理气相沉积设备的靶材单元及物理气相沉积设备 [P].

杨涛 ;

黄云岭 .

中国专利 :CN208594329U ,2019-03-12

[6]

物理气相沉积设备的准直装置及物理气相沉积设备 [P].

刘建军 .

中国专利 :CN119020736A ,2024-11-26

[7]

防着板及物理气相沉积设备 [P].

胡小波 .

中国专利 :CN108588642A ,2018-09-28

[8]

镀膜装置及物理气相沉积设备 [P].

景江 ;

陈昀德 ;

崔赢兮 ;

乔慧娜 ;

刘正德 ;

彭乐 ;

孙禄标 .

中国专利 :CN110106481A ,2019-08-09

[9]

传输结构及物理气相沉积设备 [P].

李冰 .

中国专利 :CN206887217U ,2018-01-16

[10]

用于物理气相沉积设备的护罩结构以及物理气相沉积设备 [P].

王大为 ;

吴孝哲 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN110004418A ,2019-07-12

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