一种半导体生产设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410995789.2

申请日：

2024-07-24

公开(公告)号：

CN118990204A

公开(公告)日：

2024-11-22

发明(设计)人：

汤春芳张森林程涛莫冬清

申请人：

深圳沸石科技股份有限公司

申请人地址：

518000 广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区华荣路龙富工业区6号1层-4层、9号1层-7层

IPC主分类号：

B24B9/06

IPC分类号：

B24B41/06 B24B49/16 B24B55/02 B24B55/06 H01L21/67 H01L21/02

代理机构：

深圳市鼎圣霏凡专利代理事务所(普通合伙) 44759

代理人：

黄太林

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

广东省深圳市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-23	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B24B 9/06申请日:20240724
2024-11-22	公开	公开

共 50 条

[1]

一种半导体生产设备 [P].

黄伟明 .

中国专利 :CN210512381U ,2020-05-12

[2]

一种半导体生产设备 [P].

郭旭 ;

申长卫 ;

马威风 .

中国专利 :CN113547651A ,2021-10-26

[3]

温度控制装置和半导体生产设备 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN209070395U ,2019-07-05

[4]

半导体生产设备尾气处理系统 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN209213884U ,2019-08-06

[5]

半导体生产设备 [P].

吴彩庭 ;

刘欣 ;

罗骞 ;

毛朝斌 ;

孔倩茵 .

中国专利 :CN307108341S ,2022-02-11

[6]

半导体生产设备 [P].

邱岳金 .

中国专利 :CN113921454A ,2022-01-11

[7]

半导体生产设备 [P].

吴彩庭 ;

毛朝斌 ;

伍三忠 ;

孔倩茵 ;

程远贵 .

中国专利 :CN309188781S ,2025-03-21

[8]

一种半导体生产用晶圆智能生产设备 [P].

廖齐文 ;

王青英 ;

廖路娜 .

中国专利 :CN117620805A ,2024-03-01

[9]

一种半导体生产设备的对准装置及方法、半导体生产设备 [P].

黄栋梁 ;

杨博光 ;

王鑫鑫 ;

蔡晨 ;

冒鹏飞 .

中国专利 :CN119781266A ,2025-04-08

[10]

一种半导体生产设备支架 [P].

马志刚 ;

占峰 ;

陈伟 ;

钱怡 ;

史大金 .

中国专利 :CN205065224U ,2016-03-02

← 1 2 3 4 5 →