一种PVT法SiC单晶生长坩埚

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202323377927.0
申请日
2023-12-12
公开(公告)号
CN222064715U
公开(公告)日
2024-11-26
发明(设计)人
邱艳丽 李天运
申请人
合肥世纪金芯半导体有限公司
申请人地址
230000 安徽省合肥市高新区长宁大道与长安路交叉口集成电路产业园一期A-1号楼1层西边(102)、A-1号楼3层西边(302)
IPC主分类号
C30B23/00
IPC分类号
C30B29/36
代理机构
安徽歌途知识产权代理事务所(普通合伙) 34282
代理人
向杰
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
江苏省 常州市
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共 50 条
[1]
一种PVT法SiC单晶生长坩埚 [P]. 
刘鹏飞 ;
高超 ;
刘家朋 .
中国专利 :CN209082038U ,2019-07-09
[2]
一种SiC单晶PVT生长装置 [P]. 
刘新辉 ;
杨昆 ;
牛晓龙 ;
路亚娟 ;
郑清超 .
中国专利 :CN207738893U ,2018-08-17
[3]
SiC单晶生长用坩埚 [P]. 
野口骏介 ;
大矢信之 .
中国专利 :CN109715868A ,2019-05-03
[4]
一种PVT法单晶生长炉 [P]. 
周振翔 ;
赵欣 ;
何敬晖 ;
李辉 ;
黄存新 ;
彭珍珍 ;
陈建荣 .
中国专利 :CN207944168U ,2018-10-09
[5]
一种PVT生长SiC单晶籽晶粘接盘 [P]. 
包文东 ;
陈吉堃 ;
陈诺夫 ;
惠峰 ;
陆贵兵 ;
普世坤 ;
林作亮 ;
胡文瑞 .
中国专利 :CN212103066U ,2020-12-08
[6]
一种PVT法生长SiC用的单晶炉测温结构 [P]. 
包文东 ;
陈吉堃 ;
陈诺夫 ;
惠峰 ;
陆贵兵 ;
普世坤 ;
林作亮 ;
胡文瑞 .
中国专利 :CN212103061U ,2020-12-08
[7]
坩埚和SiC单晶生长装置 [P]. 
藤川阳平 .
中国专利 :CN110408996A ,2019-11-05
[8]
一种PVT法SiC单晶生长炉真空压力控制系统 [P]. 
朱彦林 .
中国专利 :CN222666103U ,2025-03-25
[9]
一种用于PVT法生长SiC单晶的装料装置及装料方法 [P]. 
刘新辉 ;
杨昆 ;
张福生 ;
路亚娟 ;
牛晓龙 ;
郑清超 .
中国专利 :CN110565167A ,2019-12-13
[10]
一种用于SiC单晶生长装置中的石墨坩埚 [P]. 
张新峰 ;
龙安泽 ;
周彩云 ;
杜陈 .
中国专利 :CN216514245U ,2022-05-13