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一种高密度氧化物靶材及其制备方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411295103.5
申请日：
2024-09-15
公开(公告)号：
CN118932286A
公开(公告)日：
2024-11-12
发明(设计)人：
张高祥 王奇峰 李开杰 吴鸿毅 陆洲 刘成龙
申请人：
先导薄膜材料（广东）有限公司
申请人地址：
511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区
IPC主分类号：
C23C14/08
IPC分类号：
C04B35/01 C04B35/622 C04B35/638
代理机构：
清远市诺誉知识产权代理事务所(普通合伙) 44815
代理人：
龚元元
法律状态：
授权
国省代码：
江苏省 常州市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-10-17 授权 授权
2024-11-12 公开 公开
2024-11-29 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/08申请日:20240915
共 50 条
[21]
一种氧化物靶材及其制备方法 [P]. 
何金江 ;
徐学礼 ;
陈淼琴 ;
万小勇 ;
丁照崇 ;
熊晓东 ;
李勇军 .
中国专利 :CN105734508B ,2016-07-06
[22]
一种氧化物靶材及其制备方法 [P]. 
邵学亮 ;
谭永健 ;
童培云 ;
朱刘 .
中国专利 :CN112299823A ,2021-02-02
[23]
高功函数金属氧化物靶材及其制备方法 [P]. 
王之君 ;
薛建设 ;
孙本双 ;
吴彬 ;
刘苗 ;
王成铎 ;
陈杰 ;
刘洋 ;
曾学云 ;
何季麟 .
中国专利 :CN119430867B ,2025-11-18
[24]
高功函数金属氧化物靶材及其制备方法 [P]. 
王之君 ;
薛建设 ;
孙本双 ;
吴彬 ;
刘苗 ;
王成铎 ;
陈杰 ;
刘洋 ;
曾学云 ;
何季麟 .
中国专利 :CN119430867A ,2025-02-14
[25]
一种高密度低温烧结IGZO靶材及其制备方法 [P]. 
曾墩风 ;
王志强 ;
曾探 ;
鄢波 ;
陈光园 .
中国专利 :CN120518390B ,2025-09-26
[26]
一种高密度低温烧结IGZO靶材及其制备方法 [P]. 
曾墩风 ;
王志强 ;
曾探 ;
鄢波 ;
陈光园 .
中国专利 :CN120518390A ,2025-08-22
[27]
一种氧化物烧结体及其制备方法、氧化物靶材及应用 [P]. 
徐华 ;
杨开霞 .
中国专利 :CN117776675A ,2024-03-29
[28]
一种超高密度的ITO靶材制备工艺 [P]. 
曾墩风 ;
张兵 ;
王志强 ;
曾探 ;
陈光园 .
中国专利 :CN118978397A ,2024-11-19
[29]
一种铟钨氧化物靶材及其制备方法 [P]. 
刘洋 ;
左仲恒 ;
孙本双 ;
曾学云 ;
王之君 ;
刘苗 ;
陈杰 ;
舒永春 ;
何季麟 .
中国专利 :CN114702304A ,2022-07-05
[30]
锡氧化物靶材及其制备方法 [P]. 
庄大明 ;
赵明 ;
郭力 ;
曹明杰 ;
李晓龙 ;
孙汝军 .
中国专利 :CN106191774A ,2016-12-07
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