一种高密度氧化物靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411295103.5

申请日：

2024-09-15

公开(公告)号：

CN118932286A

公开(公告)日：

2024-11-12

发明(设计)人：

张高祥王奇峰李开杰吴鸿毅陆洲刘成龙

申请人：

先导薄膜材料（广东）有限公司

申请人地址：

511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区

IPC主分类号：

C23C14/08

IPC分类号：

C04B35/01 C04B35/622 C04B35/638

代理机构：

清远市诺誉知识产权代理事务所(普通合伙) 44815

代理人：

龚元元

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-17	授权	授权
2024-11-12	公开	公开
2024-11-29	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/08申请日:20240915

共 50 条

[41]

一种氧化物靶材的制备方法以及镨掺杂IGZO氧化物靶材 [P].

葛春桥 ;

李强 ;

钟威平 ;

高洋 .

中国专利 :CN118108497B ,2025-12-16

[42]

一种氧化物靶材的制备方法以及镨掺杂IGZO氧化物靶材 [P].

葛春桥 ;

李强 ;

钟威平 ;

高洋 .

中国专利 :CN118108497A ,2024-05-31

[43]

一种氧化物平面靶及其制备方法 [P].

李开杰 ;

邵学亮 ;

张来稳 ;

司振华 ;

朱刘 .

中国专利 :CN113735567A ,2021-12-03

[44]

稀土钡铜氧化物超导靶材及其制备方法 [P].

朱林 ;

孙本双 .

中国专利 :CN118561589A ,2024-08-30

[45]

一种单分散氧化镓粉体及其高密度陶瓷靶材的制备方法 [P].

李晨辉 ;

单静静 ;

刘江安 ;

史玉升 ;

吴甲民 ;

闫春泽 ;

桂如峰 .

中国专利 :CN107010654B ,2017-08-04

[46]

一种锌基氧化物靶材及其制备方法和应用 [P].

袁润 ;

高洋 ;

李强 .

中国专利 :CN119306476A ,2025-01-14

[47]

一种铟锡氧化物靶材的制备方法 [P].

甘雪萍 ;

王科 ;

周科朝 ;

李志友 ;

张斗 .

中国专利 :CN102910900A ,2013-02-06

[48]

一种氧化物掺杂氧化铟基靶材及其制备方法和应用 [P].

林智成 ;

侯庆龙 ;

李强 ;

官凌宇 ;

纪生晓 ;

罗云侠 .

中国专利 :CN119613091A ,2025-03-14

[49]

高密度ITO靶材粉末的处理方法 [P].

马建保 ;

王志强 ;

陶成 ;

曾墩风 ;

盛明亮 .

中国专利 :CN113800900A ,2021-12-17

[50]

一种制备新型缓冲层氧化物靶材及其氧化物薄膜的方法 [P].

黄信二 .

中国专利 :CN103305793A ,2013-09-18

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