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MEMS芯片的测试方法及系统、存储介质
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411310362.0
申请日：
2024-09-20
公开(公告)号：
CN118837726A
公开(公告)日：
2024-10-25
发明(设计)人：
朱炯
方泽莉
申请人：
绍兴圆方半导体有限公司
申请人地址：
312035 浙江省绍兴市越城区皋埠街道银桥路326号3号楼2层203、204、206室
IPC主分类号：
G01R31/28
IPC分类号：
代理机构：
深圳市嘉勤知识产权代理有限公司 44651
代理人：
范伟民
法律状态：
授权
国省代码：
浙江省
绍兴市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-12-17 | 授权 | 授权 |
| 2024-11-12 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G01R 31/28申请日:20240920 |
| 2024-10-25 | 公开 | 公开 |