一种生长大尺寸氧化镓晶体的设备及生长方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202411419759.3
申请日
2024-10-11
公开(公告)号
CN119287493A
公开(公告)日
2025-01-10
发明(设计)人
夏宁 王琤 王嘉君
申请人
杭州镓仁半导体有限公司
申请人地址
311202 浙江省杭州市萧山区宁围街道建设三路733号信息港五期一号楼205-62
IPC主分类号
C30B15/00
IPC分类号
C30B15/22 C30B29/16 C30B15/32 C30B15/14
代理机构
北京高沃律师事务所 11569
代理人
王洋
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种导模法生长大尺寸氧化镓晶体的模具及生长方法 [P]. 
齐红基 ;
赛青林 ;
张龙 .
中国专利 :CN112795982A ,2021-05-14
[2]
氧化镓晶体生长方法及生长氧化镓晶体的组合坩埚 [P]. 
张辉 ;
马可可 ;
夏宁 ;
王嘉斌 ;
刘莹莹 ;
杨德仁 .
中国专利 :CN113774484A ,2021-12-10
[3]
氧化镓晶体生长装置及生长方法 [P]. 
马可可 ;
夏宁 ;
杨守智 .
中国专利 :CN118957757A ,2024-11-15
[4]
氧化镓晶体生长装置及生长方法 [P]. 
狄聚青 ;
朱刘 ;
刘运连 ;
薛帅 ;
唐俊杰 .
中国专利 :CN112680780A ,2021-04-20
[5]
一种增加氧化镓晶体尺寸的生长方法 [P]. 
胡开朋 .
中国专利 :CN119433678A ,2025-02-14
[6]
一种导模法生长大尺寸氧化镓晶体的方法及生长模具 [P]. 
王英民 ;
霍晓青 ;
王健 ;
张胜男 ;
李宝珠 ;
郝建民 ;
程红娟 ;
周金杰 .
中国专利 :CN117552091A ,2024-02-13
[7]
一种氧化镓晶体生长炉及氧化镓晶体生长方法 [P]. 
王琤 ;
杨守智 ;
沈典宇 ;
王芸霞 .
中国专利 :CN117468092A ,2024-01-30
[8]
一种用于氧化镓晶体生长的模具及氧化镓晶体的生长方法 [P]. 
陈政委 ;
胡开朋 ;
吕进 ;
辛泽文 ;
邓德辉 ;
赵德刚 ;
吴忠亮 .
中国专利 :CN114457414A ,2022-05-10
[9]
一种用于氧化镓晶体生长的模具及氧化镓晶体的生长方法 [P]. 
陈政委 ;
胡开朋 ;
吕进 ;
辛泽文 ;
邓德辉 ;
赵德刚 ;
吴忠亮 .
中国专利 :CN114457414B ,2025-09-02
[10]
氧化镓晶体生长装置及晶体生长方法 [P]. 
张辉 ;
马可可 ;
夏宁 ;
王嘉斌 ;
刘莹莹 ;
杨德仁 .
中国专利 :CN114059162B ,2022-02-18