一种碳化硅晶圆切割设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410705331.9

申请日：

2024-06-03

公开(公告)号：

CN118514221B

公开(公告)日：

2024-12-13

发明(设计)人：

奚衍罡王洁石广申马嘉俊

申请人：

南通罡丰科技有限公司

申请人地址：

226000 江苏省南通市高新区金桥西路一号聚恒工业园12号

IPC主分类号：

B28D5/00

IPC分类号：

代理机构：

江苏南通启海专利商标代理事务所(普通合伙) 32812

代理人：

张广宇

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-13	授权	授权
2024-09-06	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B28D 5/00申请日:20240603
2024-08-20	公开	公开

共 50 条

[1]

一种碳化硅晶圆切割设备 [P].

奚衍罡 ;

王洁 ;

石广申 ;

马嘉俊 .

中国专利 :CN118514221A ,2024-08-20

[2]

碳化硅晶圆切割设备 [P].

张晓峰 ;

胡秋立 .

中国专利 :CN223531643U ,2025-11-11

[3]

一种碳化硅晶圆激光切割设备 [P].

朱佰喜 ;

薛抗美 ;

卢晓颖 .

中国专利 :CN114453773A ,2022-05-10

[4]

碳化硅晶圆切割装置 [P].

刘鸿吉 .

中国专利 :CN221134497U ,2024-06-14

[5]

碳化硅晶圆切割方法 [P].

刘舟 ;

陆明 ;

吴霞芳 ;

黄小龙 ;

吴华安 ;

王太保 ;

高鹏 ;

盛辉 ;

张凯 ;

周学慧 .

中国专利 :CN115555732A ,2023-01-03

[6]

碳化硅晶圆和碳化硅晶圆的氧化方法 [P].

林秀岩 ;

曹力力 ;

陈伟 ;

张永熙 ;

袁志巧 .

中国专利 :CN120322001A ,2025-07-15

[7]

一种碳化硅晶圆 [P].

张行富 ;

宣丽英 ;

潘胜浆 .

中国专利 :CN216773241U ,2022-06-17

[8]

一种碳化硅陶瓷晶舟切割设备 [P].

李致泓 ;

刘芸 ;

曹兵 ;

聂玉平 .

中国专利 :CN118305465B ,2024-10-18

[9]

一种碳化硅陶瓷晶舟切割设备 [P].

李致泓 ;

刘芸 ;

曹兵 ;

聂玉平 .

中国专利 :CN118305465A ,2024-07-09

[10]

一种碳化硅晶圆加工方法 [P].

严立巍 ;

朱亦峰 ;

刘文杰 ;

马晴 .

中国专利 :CN115472493A ,2022-12-13

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