一种晶圆清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420489944.9

申请日：

2024-03-13

公开(公告)号：

CN222469878U

公开(公告)日：

2025-02-14

发明(设计)人：

谢祖荣计骏

申请人：

上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司

申请人地址：

201807 上海市嘉定区娄陆公路497号

IPC主分类号：

B08B1/12

IPC分类号：

H01L21/67 B08B1/34 B08B1/20 B08B3/02 B08B13/00 G01P3/36

代理机构：

上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286

代理人：

黄海霞

法律状态：

授权

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-14	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

贺贤汉 ;

杉原一男 ;

佐藤泰幸 ;

原英樹 .

中国专利 :CN215844496U ,2022-02-18

[2]

一种晶圆清洗装置 [P].

唐宪俊 ;

王亮 ;

曹悦 .

中国专利 :CN222507551U ,2025-02-18

[3]

一种晶圆清洗装置 [P].

许金海 ;

李佩 ;

马智勇 .

中国专利 :CN201898119U ,2011-07-13

[4]

一种晶圆的清洗装置 [P].

薛旋 ;

冯志强 .

中国专利 :CN220491853U ,2024-02-13

[5]

一种晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN203620984U ,2014-06-04

[6]

一种晶圆清洗毛刷及晶圆清洗装置 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN221602607U ,2024-08-27

[7]

一种晶圆清洗台及晶圆清洗装置 [P].

兰升友 ;

徐瑞林 .

中国专利 :CN215613584U ,2022-01-25

[8]

一种晶圆片清洗装置 [P].

钟伟 ;

罗昱 ;

刘颖 ;

张炳伟 ;

吕守贵 ;

郭磊 ;

文国昇 ;

金从龙 .

中国专利 :CN222826360U ,2025-05-02

[9]

一种晶圆清洗用胶圈及晶圆清洗装置 [P].

蔡春月 ;

汪志宇 .

中国专利 :CN221269032U ,2024-07-05

[10]

一种晶圆边缘清洗装置及晶圆清洗设备 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN222720360U ,2025-04-04

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