一种晶圆清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201020644162.6

申请日：

2010-12-06

公开(公告)号：

CN201898119U

公开(公告)日：

2011-07-13

发明(设计)人：

许金海李佩马智勇

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

B08B704

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-05-08	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101582014693 IPC(主分类):H01L 21/02 专利号:ZL2010206441626 变更事项:专利权人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更后权利人:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道18号登记生效日:20130412
2011-07-13	授权	授权
2019-11-22	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20101206 授权公告日:20110713 终止日期:20181206

共 50 条

[1]

一种晶圆清洗装置 [P].

谢祖荣 ;

计骏 .

中国专利 :CN222469878U ,2025-02-14

[2]

一种晶圆清洗装置 [P].

刘全益 ;

胡敬祥 .

中国专利 :CN218133634U ,2022-12-27

[3]

一种晶圆清洗装置 [P].

唐宪俊 ;

王亮 ;

曹悦 .

中国专利 :CN222507551U ,2025-02-18

[4]

一种晶圆清洗装置 [P].

唐强 ;

汤露奇 .

中国专利 :CN201898118U ,2011-07-13

[5]

一种晶圆清洗装置 [P].

胡建军 .

中国专利 :CN216631792U ,2022-05-31

[6]

一种晶圆清洗装置 [P].

李鹏 ;

邵玉林 ;

王佳伟 ;

曹刚 .

中国专利 :CN222838801U ,2025-05-06

[7]

晶圆清洗装置 [P].

吕慧超 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208848866U ,2019-05-10

[8]

晶圆清洗装置 [P].

崔亚东 ;

陈章晏 ;

颜超仁 ;

卢思源 ;

王永昌 .

中国专利 :CN209496829U ,2019-10-15

[9]

晶圆清洗装置 [P].

杨勇 ;

杜亮 ;

常延武 .

中国专利 :CN203124337U ,2013-08-14

[10]

晶圆清洗装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN203437362U ,2014-02-19

← 1 2 3 4 5 →