一种晶圆清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421371018.8

申请日：

2024-06-14

公开(公告)号：

CN222838801U

公开(公告)日：

2025-05-06

发明(设计)人：

李鹏邵玉林王佳伟曹刚

申请人：

无锡琨圣芯成科技有限公司

申请人地址：

214000 江苏省无锡市新吴区锡贤路106号

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/677 B08B11/00

代理机构：

北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250

代理人：

王惠

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-06	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆清洗装置 [P].

刘全益 ;

胡敬祥 .

中国专利 :CN218133634U ,2022-12-27

[2]

一种晶圆清洗装置 [P].

唐强 ;

汤露奇 .

中国专利 :CN201898118U ,2011-07-13

[3]

一种晶圆清洗装置 [P].

许金海 ;

李佩 ;

马智勇 .

中国专利 :CN201898119U ,2011-07-13

[4]

一种晶圆清洗装置 [P].

胡建军 .

中国专利 :CN216631792U ,2022-05-31

[5]

晶圆清洗装置 [P].

吕慧超 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208848866U ,2019-05-10

[6]

晶圆清洗装置 [P].

崔亚东 ;

陈章晏 ;

颜超仁 ;

卢思源 ;

王永昌 .

中国专利 :CN209496829U ,2019-10-15

[7]

晶圆清洗装置 [P].

杨勇 ;

杜亮 ;

常延武 .

中国专利 :CN203124337U ,2013-08-14

[8]

晶圆清洗装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN203437362U ,2014-02-19

[9]

晶圆清洗装置 [P].

林士闵 ;

郑志成 ;

陈嘉勇 ;

苏财宝 .

中国专利 :CN216728501U ,2022-06-14

[10]

晶圆清洗装置 [P].

潘东林 ;

高英哲 ;

张文福 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN209947804U ,2020-01-14

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