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半导体处理设备及方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011642968.6
申请日：
2020-12-31
公开(公告)号：
CN114695051B
公开(公告)日：
2025-02-21
发明(设计)人：
王卓
张赛谦
申请人：
拓荆科技股份有限公司
申请人地址：
110179 辽宁省沈阳市浑南区水家900号
IPC主分类号：
H01J37/32
IPC分类号：
H01L21/683
代理机构：
上海专利商标事务所有限公司 31100
代理人：
徐伟
法律状态：
授权
国省代码：
辽宁省
沈阳市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-02-21 | 授权 | 授权 |