光学邻近修正方法及其修正装置、可读存储介质

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411784921.1

申请日：

2024-12-05

公开(公告)号：

CN119668018A

公开(公告)日：

2025-03-21

发明(设计)人：

徐世斌高大为吴永玉任堃鲁苗苗颜哲钜姚淼红张馨元李翰轩

申请人：

浙江创芯集成电路有限公司

申请人地址：

311200 浙江省杭州市萧山区宁围街道平澜路2118号浙江大学杭州国际科创中心水博园区11幢4层-5层（自主申报）

IPC主分类号：

G03F1/36

IPC分类号：

G03F7/20

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

李慧慧

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

浙江省杭州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-08	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 1/36申请日:20241205
2025-03-21	公开	公开

共 50 条

[1]

光学邻近修正方法 [P].

从传飞 .

中国专利 :CN118884774A ,2024-11-01

[2]

光学邻近修正方法和装置、计算机可读存储介质 [P].

徐世斌 ;

高大为 ;

吴永玉 ;

任堃 ;

鲁苗苗 ;

颜哲钜 ;

姚淼红 ;

张馨元 ;

李翰轩 .

中国专利 :CN118838111A ,2024-10-25

[3]

光学邻近修正方法 [P].

王铁柱 .

中国专利 :CN104749899B ,2015-07-01

[4]

光学邻近修正方法、存储介质及终端 [P].

王科 ;

任堃 ;

高大为 ;

吴永玉 .

中国专利 :CN118963055B ,2025-11-25

[5]

光学邻近修正方法、存储介质及终端 [P].

钟晨 ;

王栋 .

中国专利 :CN120215197A ,2025-06-27

[6]

光学邻近修正方法、存储介质及终端 [P].

王科 ;

任堃 ;

高大为 ;

吴永玉 .

中国专利 :CN118963055A ,2024-11-15

[7]

光学邻近修正方法、存储介质及终端 [P].

钟晨 ;

王栋 .

中国专利 :CN120215196A ,2025-06-27

[8]

光学邻近修正方法、装置、设备及存储介质 [P].

方超 ;

刘文东 .

中国专利 :CN121050167A ,2025-12-02

[9]

光学邻近修正方法及修正装置、掩膜版、设备和存储介质 [P].

朱斌 ;

王浩 ;

陈洁 ;

张剑 ;

曹楠 ;

严保鑫 ;

陈圆香 .

中国专利 :CN121165387A ,2025-12-19

[10]

光学邻近修正方法、掩膜版及可读存储介质 [P].

朱斌 ;

王浩 ;

王谨恒 ;

陈洁 ;

张剑 ;

曹楠 .

中国专利 :CN117471857A ,2024-01-30

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