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键合设备及其键合方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411735371.4
申请日：
2024-11-28
公开(公告)号：
CN119601520A
公开(公告)日：
2025-03-11
发明(设计)人：
侯喜昱
顾健华
申请人：
武汉新芯集成电路股份有限公司
申请人地址：
430205 湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号
IPC主分类号：
H01L21/68
IPC分类号：
H01L21/50
代理机构：
深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280
代理人：
黎坚怡
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-03-11 | 公开 | 公开 |
| 2025-03-28 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/68申请日:20241128 |