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双重图形栅极及其制作方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202411989422.6
申请日
:
2024-12-31
公开(公告)号
:
CN119764167A
公开(公告)日
:
2025-04-04
发明(设计)人
:
邱靖尧
郑名廷
申请人
:
重庆芯联微电子有限公司
申请人地址
:
401331 重庆市沙坪坝区高新区西永街道西永大道28-2号SOHO楼601-A153
IPC主分类号
:
H01L21/28
IPC分类号
:
代理机构
:
上海光华专利事务所(普通合伙) 31219
代理人
:
罗泳文
法律状态
:
公开
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2025-04-04
公开
公开
2025-04-22
实质审查的生效
实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/28申请日:20241231
共 50 条
[1]
栅极LELE双重图形成型方法
[P].
黄君
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
黄君
;
毛智彪
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
毛智彪
;
李全波
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
李全波
;
甘志锋
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
甘志锋
;
李润领
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
李润领
.
中国专利
:CN103439862B
,2013-12-11
[2]
采用双重图形化技术形成栅极的方法
[P].
刘畅
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
刘畅
;
韩秋华
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
韩秋华
.
中国专利
:CN105489480A
,2016-04-13
[3]
一种自对准双重图形制作方法
[P].
邱岩栈
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
上海华力集成电路制造有限公司
上海华力集成电路制造有限公司
邱岩栈
;
陈颖儒
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
上海华力集成电路制造有限公司
上海华力集成电路制造有限公司
陈颖儒
;
刘立尧
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
上海华力集成电路制造有限公司
上海华力集成电路制造有限公司
刘立尧
;
胡展源
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
上海华力集成电路制造有限公司
上海华力集成电路制造有限公司
胡展源
.
中国专利
:CN113782419B
,2025-03-18
[4]
双重图形工艺方法
[P].
魏想
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
魏想
;
贡褘琪
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
贡褘琪
;
鲍宇
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
鲍宇
.
中国专利
:CN115020324A
,2022-09-06
[5]
一种自对准双重图形制作方法
[P].
邱岩栈
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
邱岩栈
;
陈颖儒
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
陈颖儒
;
刘立尧
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
刘立尧
;
胡展源
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
胡展源
.
中国专利
:CN113782419A
,2021-12-10
[6]
一种栅极阵列图形的双重曝光制作方法
[P].
毛晓明
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
毛晓明
;
毛智彪
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
毛智彪
.
中国专利
:CN105280479A
,2016-01-27
[7]
垂直栅极结构及其制作方法
[P].
谢颂康
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
上海华力微电子有限公司
上海华力微电子有限公司
谢颂康
;
吕亚冰
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
上海华力微电子有限公司
上海华力微电子有限公司
吕亚冰
;
荆泉
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
上海华力微电子有限公司
上海华力微电子有限公司
荆泉
;
陈力钧
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
上海华力微电子有限公司
上海华力微电子有限公司
陈力钧
.
中国专利
:CN120857583A
,2025-10-28
[8]
双重图形化的方法
[P].
王彦
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
王彦
;
张城龙
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
张城龙
;
张海洋
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
张海洋
.
中国专利
:CN107785252A
,2018-03-09
[9]
双重图形化的方法
[P].
张城龙
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
张城龙
;
郑二虎
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
郑二虎
.
中国专利
:CN106960816A
,2017-07-18
[10]
离子液体栅极结构及其制作方法
[P].
三重野文健
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
三重野文健
.
中国专利
:CN111354633A
,2020-06-30
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