双重图形栅极及其制作方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202411989422.6
申请日
2024-12-31
公开(公告)号
CN119764167A
公开(公告)日
2025-04-04
发明(设计)人
邱靖尧 郑名廷
申请人
重庆芯联微电子有限公司
申请人地址
401331 重庆市沙坪坝区高新区西永街道西永大道28-2号SOHO楼601-A153
IPC主分类号
H01L21/28
IPC分类号
代理机构
上海光华专利事务所(普通合伙) 31219
代理人
罗泳文
法律状态
公开
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
栅极LELE双重图形成型方法 [P]. 
黄君 ;
毛智彪 ;
李全波 ;
甘志锋 ;
李润领 .
中国专利 :CN103439862B ,2013-12-11
[2]
采用双重图形化技术形成栅极的方法 [P]. 
刘畅 ;
韩秋华 .
中国专利 :CN105489480A ,2016-04-13
[3]
一种自对准双重图形制作方法 [P]. 
邱岩栈 ;
陈颖儒 ;
刘立尧 ;
胡展源 .
中国专利 :CN113782419B ,2025-03-18
[4]
双重图形工艺方法 [P]. 
魏想 ;
贡褘琪 ;
鲍宇 .
中国专利 :CN115020324A ,2022-09-06
[5]
一种自对准双重图形制作方法 [P]. 
邱岩栈 ;
陈颖儒 ;
刘立尧 ;
胡展源 .
中国专利 :CN113782419A ,2021-12-10
[6]
一种栅极阵列图形的双重曝光制作方法 [P]. 
毛晓明 ;
毛智彪 .
中国专利 :CN105280479A ,2016-01-27
[7]
垂直栅极结构及其制作方法 [P]. 
谢颂康 ;
吕亚冰 ;
荆泉 ;
陈力钧 .
中国专利 :CN120857583A ,2025-10-28
[8]
双重图形化的方法 [P]. 
王彦 ;
张城龙 ;
张海洋 .
中国专利 :CN107785252A ,2018-03-09
[9]
双重图形化的方法 [P]. 
张城龙 ;
郑二虎 .
中国专利 :CN106960816A ,2017-07-18
[10]
离子液体栅极结构及其制作方法 [P]. 
三重野文健 .
中国专利 :CN111354633A ,2020-06-30